微光機電系統(tǒng)在軍事和民用領域的...

發(fā)布時間 2012.10.05

微光機電系統(tǒng)(MOEMS)是近幾年在微機電系統(tǒng)(MEMS)中發(fā)展起來的一支極具活力的新技術系統(tǒng)，它是...

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